Through Glass Via (TGV) 관찰 장치

현미경의 설계목표는 대물렌즈 광축에 대하여 수직인 평면을 관찰하는 것입니다.

하지만, TGV 홀을 기본적으로 상단에서 하단 방향으로 관찰하게 되면 글라스의 표면이 대물렌즈의 광축에 수직(90도)인 평면이 됩니다.

TGV 홀의 경사면은 대물렌즈에서 요구되는 초점정합 조건에 대하여 거의 수직인 상태가 되어 버리기 때문에 표면의 관찰은 거의 불가능하게 됩니다.

또한 재질이 Glass이기 때문에 다양한 굴절요소를 포함하고 있어서 홀의 표면 관찰을 더욱 어렵게 만듭니다.

상기의 내용으로 현미경 검경에 있어 최적의 샘플 조건이 아니라는 것은 바로 알 수 있습니다.

이러한 가늘고 긴 입체적인 구조를 갖는 TGV Hole의 Waist 관찰 및 측정을 위해서 다음의 내용을 고려 해 볼 수 있습니다.

1차로 텔레센트릭 조명을 구현하여 투영기 처럼 Waist에 접근하는 것입니다. (탤레센트릭 조명은 광원에서 나온 빛의 진행 각도가 광축과 동일합니다. )

2차로 TGV Hole의 벽이 Glass로 이루어져 있어서 다양한 굴절, 산란, 반사 현상을 피할수가 없습니다. 이러한 현상들은 대부분 노이즈로써 관찰목적에 방해요소가 됩니다.

JNO-TGV Hole 관찰장치

절단하지 않은 상태의 TGV hole의 Top 홀을 통하여 Waist를 관찰하기 위해서는 상기 노이즈 요소를 제거하거나, 가능한 한 영항을 줄이는 개선 작업이 필요합니다.

1. 텔레센트릭 조명(Telecentric Illuminator) 구현
2. 굴절, 산란, 반사 등의 요소의 배제 및 경감.
3. 높이 정보 확인 ( 옵션 1. )
4. 절단면 단면 관찰 (옵션 2. )

옵션 1. JNO-MHU

그리고, 하기의 이미지와 같이 높이 정보를 확인할 수 있는 JNO-MHU(단차 측정 장치)를 설치하여 Waist의 위치를 파악 할 수 있습니다.

옵션 2. JNO-FM-BX-SET

절단한 단면의 포커스 정합을 위한 장치를 이용하여, 절단면의 관찰을 용이하게 할 수 있습니다.

TGV 샘플 관찰이 필요하신 분은 하기의 연락처로 연락을 부탁드립니다.

(주) 제이엔옵틱

진재환 올림

E-mail : jhjin@jnoptic.com 
Mobile : + 82-2-3473-4188~9 

Observation of the surface of a long column

사용가능한 관찰법

Bright Field Microscopy
Polarization Microscopy (option)

추가 가능한 관찰법 및 Option

Polarization Microscopy (option)
Height Measurement Unit _ 최소단위 : 0.2㎛ (option)

– Consist of –

Large Table Stand
Compact microscope frame
Attachment Holder
Qunituple Revolving Nosepiece
Compact Illumination Tube
Objective 5X ( Dry Type )
Objective 10X ( Dry Type )
Objective 20X ( Dry Type )
Mechanicla Stage with Right-Hand Drive Control
Stage Plate for HLMD(전용)
Tube Lens
C-mount Adapter 1X
Pin Light Source & adapter
Stage adater
Centering Extend Plate
COLOR CMOS Pregius USB Camera
-1/1.8 “” CMOS Pregius, COLOR
-2,048×1,536 pixel
-Up to 60 images/s
-Protocol: USB 3.0
-IR Cut : 650㎚”

Compact Reflected Microscope

데모장비 판매가격 : 670만원 (VAT 별도)

Option을 제외한 모든 구성이 포함된 가격입니다.

사용가능한 관찰법

Bright Field
Polarization Microscope (option)

추가 가능한 관찰법 및 Option

Polarization Microscope (option)
Height Measurement Unit _0.2㎛ (option)

– Consist of –

Large Table Stand
Compact microscope frame
Attachment Holder
Qunituple Revolving Nosepiece
Compact Illumination Tube
Objective 5X ( Dry Type )
Objective 10X ( Dry Type )
Objective 20X ( Dry Type )
Mechanicla Stage with Right-Hand Drive Control
Stage Plate
Trinocular Intermediate Attachment
C-mount Adapter 1X
Pin Light Source & adapter
Stage adater
Centering Plate
Color CCD USB Camera
-1/3 “” CCD, Color
-1280 x 960 pixel
-Up to 30 images/s
-Protocol: USB 3.0

8인치 웨이퍼 검사 현미경 (Compact Type)

8인치 웨이퍼 검사 현미경 & 높이 측정 유닛 포함

JNO-WHP86FBX : 8인치 웨이퍼 검사판 ( OLYMPUS BX53M 사용가능 )

JNO-MHU : 단차 또는 높이 측정 유닛

BX53M : OLYMPUS 산업현미경

OLYMPUS(EVIDENT)의 BX53은 Y축의 구동범위는 4인치까지이기 때문에 8인치 웨이퍼를 검사 하기 어렵습니다. 8인치 웨이퍼를 관찰하기 위해서는 X축과 Y축 모두 8inch(20㎝) 구동할 수 있는 고가의 대형 현미경을 구입해야합니다.

하지만, JNO-WHP86FBX는 8인치 웨이퍼를 전면적을 검사 할 수 있도록 기능을 확장 할 수 있는 유닛입니다. (Wafer를 회전시키면서 관찰 하면, 8inch Wafer의 모든 면적을 빠짐 없이 검사 할 수 있습니다. )