현미경 솔루션

OLYMPUS – MX61L / MX61

MX61L(300mm용) / MX61(200mm용) 반도체 검사용 현미경은 명시야,암시야,간이편광(DIC),형광, 적외선 및 자외선을 이용한 다양한 관찰법을 통해 고화질의 선명한 이미지를 제공합니다.

• 인체 공학적 디자인 기능
• 뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능
• 소프트웨어 솔루션
• 고성능 기능
• 다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리

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 인체 공학적 디자인 기능

 빠른 작업을 위한 직관적인 컨트롤

MX61L/MX61의 주요 컨트롤은 사용자의 손끝이 초점조절 손잡이 근처인 현미경의 전면부에 위치하게 된다는 것입니다.
렌즈,조명 강도와 조리개 조절시에 초점조절 손잡이로부터 손을 뗀다거나 접안렌즈에서 눈을 멀리하는 일이 없습니다.

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 Titling Trinocular Observation Tube

Observation Tube 조절의 넓은 범위는 사용자가 앉아서 적절한 자세를 취하여 안정적이고 편안한 작업을 할 수 있습니다.

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Clutch Driven Manual XY Stage 

300mm 수동 XY 스테이지는 내장된 클러치 메커니즘 및 XY
손잡이를 사용하여 조동과 미동 움직임의 조절이 됩니다.
클러치를 사용하여, 사용자는 검사를 하는 동안 스테이지를 자유롭게 이동할 수 있습니다.

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뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능

우수한 이미지 성능을 위한 다양한 선택

렌즈는 광학 현미경의 핵심 부품이며 재료 샘플의 관찰과 조명을 위해 사용되어 집니다. OLYMPUS는 모든 관찰법에 적합한 범용적인 렌즈, Working Distance(샘플과의 거리)가 길거나 매우 긴 렌즈, 근적외선 렌즈, LCD 전용 검사용 렌즈 등 다양한 종류의 렌즈를 갖추고 있습니다.

관찰 이미지 예

사용목적에 따라 다양한 렌즈의 선택
MPLAPON	Plan Apochromat Objective Lens Series
MPLFLN	Semi Apochromat Objective Lens Series (명시야)
MPLFLN-BD	Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLFLN-BDP	Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야, 편광 )
LMPLFLN	Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야 )
LMPLFLN-BD	Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLN	Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야 )
MPLN-BD	Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
SLMPLN	Super Long WD Plan Achromat Objective Lens Series
LCPLFLN-LCD	Long WD Semi Apocromatic Objective Lens Series ( LCD전용 )

-> UIS2 대물렌즈에 관한 상세한 설명

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소프트웨어 솔루션

디지털 영상을 위한 준비

MX61L / MX61은 현미경의 제어를위한 PC 인터페이스를
갖추고 있습니다. 이미지를 캡처하는 동안 렌즈의 배율이 자동으로 저장 됩니다. 이 점은 추가적인 처리와 분석을위한 신뢰할 수있는 이미지 정보를 보장합니다.

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디지털 영상, 이미지 분석과 데이타베이스 관리

OLYMPUS는 소프트웨어 뿐만 아니라 다양한 종류의 디지털 카메라와 함께 광범위한 영상과 분석솔루션을 제공합니다. 가장 최신버젼의 고급 소프트웨어는 MX61L/MX61과 통합되어 이미지 획득, 이미지 처리, 측정 기능, 통계 결과, 주석, 보관, 리포트 생성과 데이타 관리와 같은 업무 수행에 필수적인 기능을 제공하며 추가적으로 Secure File Repository를 제공하여 보안을 강화할 수 있습니다.

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고성능 기능

전동 Nosepieces로 검사속도 향상

초고속 전동 nosepiece 의 회전 속도는 clean room과의 호환성을 유지하면서 검사 간의 속도를 줄여줍니다. OLYMPUS는 이상적인 검사방법을 위해 3가지 종류의 제어방식을 제공합니다. 소프트웨어, 프레임 버튼, 독립적인 핸드셋.

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자동 조리개 조절에 의한 최적의 contrast

통합된 전동타입의 조리개가 렌즈에 따라 자동적으로
조절됩니다. 각각의 배율에 따라 최상의 이미지 품질을 얻을 수 있고 사용자의 눈을 편하게 하여 규칙적인 검사를 더욱 효율적으로 만들어 줍니다.

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다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리

근적외석(IR) 광학과 영상

특별히 고안된 IR 객관 렌즈 및 부품 실리콘과 유리의
표면 아래 영상 기능과 결함에 이상적입니다.반도체 및 태양광 산업 정렬에 대한 IR 영상, 하위 표면 오염 및 중요 치수 검사의 신분을 사용합니다.20x, 50x 및 100x 목표는 전반적인 대비를 향상, 실리콘과 유리의 두께로 인한 aberrations에 대한 해결 정정 칼라로 설계되었습니다. 가까운 적외선 영상 및 분석을위한 올림푸스 supportsseveral IR 디지털 카메라.
특별히 고안된 IR 대물렌즈와 부품들은 실리콘와 유리 표면 아래(내부)에 있는 결함의 발견과 영상 기능에 이상적입니다. 반도체 및 태양광 산업에서 중요 치수 검사나 하위-표면 오염정도의 식별을 위해 IR 기능을 사용합니다. 20배,50배,100배 렌즈는 전체적으로 contrast를 향상시켰고 실리콘과 유리 두께에 따라 발생하는 aberrations을 해결하기 위해 correction collar(보정환)를 가지고 있습니다. OLYMPUS는 근적외선 영상과 분석을 위한 IR 디지털 카메라도 지원합니다.

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형광 관찰

MX61L/MX61은 높은 강도의 광원과 미러 큐브를 추가하여 형광관찰을 할 수 있습니다. 형광관찰은 resist residuals 와 유기 입자 등의 샘플을 쉽게 검출하는데 유용합니다.

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투과 조명모듈

투과 조명은 MX61L/MX61에 결합되어 포토마스크나 평판디스플레이 검사에 사용할 수 있습니다. 두 가지 콘덴서 타입이 있으며, 첫 번째 타입 MX-TILLA는 범용적인 용도로 사용되며, 두 번째 타입 MX-TILLB는 높은 개구수(N.A)를 갖고 있습니다. 두 가지 타입 모두 간이편광을 지원합니다.

현미경 솔루션

OLYMPUS – MX51

OLYMPUS 산업용 검사 현미경 MX51은 가격대비 활용성이 높은 모델로 보다 편리하고 빠른 관찰이 가능하며, 각종 전자부품, 웨이퍼, 크기가 큰 샘플들의 관찰에 용이하도록 최적화되었습니다.

• 인체공학적 & 효율성
• 뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능
• 소프트웨어 솔루션
• 다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리

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인체공학적 & 효율성

 Frontal Centralized Operation

MX51 컨트롤 하는 부분이 현미경의 정면에 위치하고 있어 사용자가 접촉하고 조종하기 쉽습니다. 클러치가 포함된 150mm 스테이지는 빠르게 위치 설정이 가능하며 사용자의 피로도를 줄여줍니다.

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전동 Revolving Nosepiece

MX51은 표준 수동타입의 Nosepieces 뿐만 아니라, 전동타입의 Nosepieces 도 장착이 가능합니다. 전동 Nosepieces는 렌즈를 빠르게 교체할 수 있으며 샘플에 발생할 수 있는 잠재적인 오염의 발생 가능성을 줄여줍니다. Nosepiece 컨트롤러는 OLYMPUS Stream과 연동하여 이미지를 획득할 때 자동적으로 대물렌즈의 배율을 저장하여 작업의 신뢰도를 높여줍니다.

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뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능

우수한 이미지 성능을 위한 다양한 선택

렌즈는 광학 현미경의 핵심 부품이며 재료 샘플의 관찰과 조명을 위해 사용되어 집니다. OLYMPUS는 모든 관찰법에 적합한 범용적인 렌즈, Working Distance(샘플과의 거리)가 길거나 매우 긴 렌즈, 근적외선 렌즈, LCD 전용 검사용 렌즈 등 다양한 종류의 렌즈를 갖추고 있습니다.

관찰 이미지 예

사용목적에 따라 다양한 렌즈의 선택
MPLAPON	Semi Apochromat Objective Lens Series (명시야)
MPLFLN	Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLFLN-BD	Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야, 편광 )
MPLFLN-BDP	Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야, 편광 )
LMPLFLN	Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야 )
LMPLFLN-BD	Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLN	Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야 )
MPLN-BD	Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
SLMPLN	Super Long WD Plan Achromat Objective Lens Series
LCPLFLN-LCD	Long WD Semi Apocromatic Objective Lens Series ( LCD전용 )

-> UIS2 대물렌즈에 관한 상세한 설명(click)

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소프트웨어 솔루션

디지털 영상, 이미지 분석과 데이타베이스 관리

OLYMPUS는 소프트웨어 뿐만 아니라 다양한 종류의 디지털 카메라와 함께 광범위한 영상과 분석솔루션을 제공합니다. 가장 최신버젼의 고급 소프트웨어는 MX61L/MX61과 통합되어 이미지 획득, 이미지 처리, 측정 기능, 통계 결과, 주석, 보관, 리포트 생성과 데이타 관리와 같은 업무 수행에 필수적인 기능을 제공하며 추가적으로 Secure File Repository를 제공하여 보안을 강화할 수 있습니다.

->디지털 카메라 종류 (click) : 추후 제이엔옵틱 제품으로 수정

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다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리

근적외석(IR) 광학과 영상

특별히 고안된 IR 객관 렌즈 및 부품 실리콘과 유리의
표면 아래 영상 기능과 결함에 이상적입니다.반도체 및 태양광 산업 정렬에 대한 IR 영상, 하위 표면 오염 및 중요 치수 검사의 신분을 사용합니다.20x, 50x 및 100x 목표는 전반적인 대비를 향상, 실리콘과 유리의 두께로 인한 aberrations에 대한 해결 정정 칼라로 설계되었습니다. 가까운 적외선 영상 및 분석을위한 올림푸스 supportsseveral IR 디지털 카메라.
특별히 고안된 IR 대물렌즈와 부품들은 실리콘와 유리 표면 아래(내부)에 있는 결함의 발견과 영상 기능에 이상적입니다. 반도체 및 태양광 산업에서 중요 치수 검사나 하위-표면 오염정도의 식별을 위해 IR 기능을 사용합니다. 20배,50배,100배 렌즈는 전체적으로 contrast를 향상시켰고 실리콘과 유리 두께에 따라 발생하는 aberrations을 해결하기 위해 correction collar(보정환)를 가지고 있습니다. OLYMPUS는 근적외선 영상과 분석을 위한 IR 디지털 카메라도 지원합니다.

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형광 관찰

MX51은 높은 강도의 광원과 미러 큐브를 추가하여 형광관찰을 할 수 있습니다. 형광관찰은 resist residuals 와 유기 입자 등의 샘플을 쉽게 검출하는데 유용합니다.

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투과 조명모듈

투과 조명은 MX51에 결합되어 포토마스크나 평판디스플레이 검사에 사용할 수 있습니다. 두 가지 콘덴서 타입이 있으며, 첫 번째 타입 MX-TILLA는 범용적인 용도로 사용되며, 두 번째 타입 MX-TILLB는 높은 개구수(N.A)를 갖고 있습니다. 두 가지 타입 모두 간이편광을 지원합니다.

CX41 _ 정립 현미경

일상용 현미경

CX41 생물 현미경은 기본기와 시스템 성능에 있어서 동급 현미경 중 기준을 제시하고 있습니다. 이는 명시야(Bright Field)와 위상차(Phase Contrast) 그리고 형광(Fluorescence)을 포함한 다양한 관측 방법에서 높은 영상 선명도를 제공합니다. 이 경제적인 현미경은 반복 관찰 작업에 적합하고 장시간의 사용을 위해 인체공학적 디자인을 채택하고 있습니다. 명성 높은 UIS2 plan 보정 대물렌즈는 뛰어난 평탄도의 영상을 보여 줍니다. 소프트웨어와 결합한 Olympus 디지털 카메라 패키지는 효율적인 문서 작성과 분석 및 보고 작업이 가능합니다.

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진보된 광학계와 시스템 성능

CX41은 생물학 및 의학분야에서의 검사와 교육 모두를 위한 높은 가성비의 현미경 시스템입니다. 명성 높은 UIS2 광학계와 Olympus의 현미경 전용 카메라들의 조합이 주는 뛰어난 성능은 이 시스템이 명시야(Bright Field)로부터 형광(Fluorescence)까지의 다양한 관찰 기법에서 높은 선예도를 제공하게 합니다.

PLCN 대물렌즈의 놀랍도록 평탄한 영상

이 제품은 높은 명성의 Olympus UIS2 무한보정 광학계에 걸맞도록 엄선된 고품질의 유리와 초정밀 생산공정으로 제작된 Plan Achromat 대물렌즈인 PLCN 시리즈를 채용하였습니다.. 그 결과, 10x와 40x 대물렌즈 사용 시 영상의 평탄도를 동일 등급의 현미경 중 최고의 품질을 구현하게 되었습니다.

관측 방법의 다양성

명시야(Bright Field)

명시야(Bright Field) 집광기는 4x ~ 100x 배율의 이미징을 지원하며, 빛 번짐을 차단하는 CX-AL 부착 렌즈와 함께 사용될 수 있고 전배율에 매우 밝은 Koehler 조명을 제공합니다.

위상차(Phase Contrast)

심플한 위상차(Phase Contrast) 관찰 장치는 10x, 40x와 100x에서 높은 음영대비를 가지는 세포 및 세균의 영상 획득을 가능하게 합니다.

형광(Fluorescence)

청색과 녹색의 여기 파장대에 특화된 반사 형광(Reflected Fluorescence) 조명 장치는 기본형 PLSN 대물렌즈로도 밝은 형광(Fluorescence) 영상 관찰을 가능하게 합니다.

단순 편광(Simple Polarized)

심플한 편광(Polarized Light)용 집광기와 분석판(Analyzer) 그리고 4x ~ 100x의 편광 대물렌즈로 편광 관찰이 가능합니다.

암시야(Darkfield)

중심 광로 차단장치와 집광기의 결합은 10x에서 40x 사이의 배율에서 뛰어난 암시야(Darkfield) 효과를 제공합니다. 건식 암시야(Darkfield) 집광기도 사용 가능합니다.

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다양한 관찰 방법에 이상적

최상의 UIS2 광학계

UIS2 접안렌즈는 F.N 20의 넓은 화각을 제공하며, 안경을 착용한 상태에서도 쉽게 관찰할 수 있습니다. Plan Achromat급 대물렌즈인 PLCN 시리즈는 뛰어난 평탄도와 함께 밝고 선명한 관측을 보장합니다.

모든 어플리케이션을 위한 집광기

슬라이드 집광기 / CX-SLC
명시야(Bright Field) 집광기 / CH3-CD

이들 Abbe 방식의 집광기들은 4x ~ 100x 사이의 명시야(Bright Field) 관찰이 가능합니다. 정밀한 광축교정은 필요 없는 빛은 차단하면서 전 배율에서의 밝은 Koehler 조명을 위한 부속 렌즈와 조리개를 통해 얻어집니다 매우 경제적인 이 집광기들은 단순히 기본 액세서리를 추가함으로써 위상차(Phase Contrast)와 암시야(Darkfield) 관찰이 가능합니다.

간이 편광 집광기(Simple Polarizing Condenser) / CH3-CDP

옵션사항인 플레이트 어댑터 U-TAD에 tint plate를 사용하면 4x ~ 100x 사이의 편광(Polarized Light) 관찰이 가능합니다. 통품 검사를 위해 U-GAN 분석판(Analyzer)가 제공됩니다. 4x ~ 100x 배율의 편광(Polarized Light) 대물렌즈가 있습니다.
* 분리형 편광판(Polarizer) U-POT와 분석판(Analyzer) U-ANT가 필요.

위상차(Phase Contrast) 집광기 / CX-PCD

이 다목적 집광기는 집광기를 바꾸지 않고도 명시야(Bright Field), 위상차(Phase Contrast), 암시야(Darkfield) 관찰이 가능합니다. 10x ~ 100x 배율 범위의 위상차(Phase Contrast) 관찰과 10x ~ 100x 배율 범위의 암시야(Darkfield) 관찰이 가능합니다.

건식 암시야(Darkfield) 집광기 / CX-DCD

건식 암시야(Darkfield) 집광기는 이머전 오일 없이도 우수한 암시야(Darkfield) 효과를 제공합니다. 10x와 40x의 배율에서 최적화됨

반사 형광(Reflected Fluorescence) 광원

사용자는 청색 혹은 녹색 여기 광원과 투과 조명 관측 중에서 선택할 수 있습니다. UIS2 광학계는 중간의 보조 배율렌즈 없이도 투과에서 형광(Fluorescence)으로의 관찰법 전환이 가능하므로 밝은 형광(Fluorescence) 영상을 제공해줍니다. 기본형 PLCN 대물렌즈들을 교체 없이 사용가능 합니다.

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뛰어난 조작성과 신뢰할 수 있는 성능

장시간 관측용 틸팅 쌍안 경통

틸팅 쌍안 경통(U-CTBI)은 각 사용자에 맞는 편안한 눈의 위치로 조절될 수 있으며, 이런 잘 맞춰진 눈의 위치는 긴 관찰 시간 동안, 피로를 감소시켜줍니다.

부드러운 재물대 움직임

재물대 손잡이의 고무 그립은 손가락 하나로도 표본을 부드럽게 움직일 수 있게 합니다. 날렵한 몸체와 편한 위치의 조절기들은 모든 것에 쉽게 접근할 수 있게 하므로, 사용자는 자연스러운 자세를 유지할 수 있습니다.

조작성이 향상된 흠집방지 재물대

작업 환경을 깔끔하게 유지하고 관찰 작업의 방해를 방지하기 위해 X축 이동 가이드는 재물대 측면으로 튀어 나오지 않습니다. 주요 및 보조 축척 표시기들은 쉽게 읽을 수 있도록 디자인되었습니다.

회전 장력 조절이 가능한 초점 조절 나사

조동 나사의 회전 장력은 각기 다른 사용자의 요구 및 책상에 손이 위치하는 동안 부드럽고 쉽게 초점 조절을 할 수 있도록 조정할 수 있습니다. 재물대의 초점거리 한도 제한장치도 제공됩니다.

쉬운 이동을 위한 손잡이

CX41은 프레임 전후면에 편리한 손잡이가 있고 재물대 손잡이가 돌출되지 않음으로 매우 이동성이 좋습니다.

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더 많은 액세서리, 더 많은 가능성.

문서화와 분석

다양한 실험에 최적화한 Olympus 디지털 카메라는 옵션 구성인 삼안 경통에 부착될 수 있습니다. 카메라는 소프트웨어 패키지와 함께 사용되어, 자료 분석 데이터 및 보고 자료도 쉽게 얻을 수 있습니다.

이인 관측 부속품

이인 관측 부속품(U-DO3)은 두 명의 관측자가 동시에 하나의 표본을 같은 방향과 배율 그리고 같은 밝기로 관측할 수 있게 합니다. 화살표 지시기는 표본의 특정 부분을 가리키는데 사용되어 교육과정을 단순화 시키고 수준 높은 회의가 되도록 도와줍니다.

화살표

화살표 지시기(U-APT)는 디지털 영상에 LED 화살표를 표시할 수 있습니다.

CX31 _ 정립 현미경

생물 현미경

CX31 고정형 이안 경통 생물 현미경은 교육과 일상의 실험에 적합합니다. 모든 주요 제어장치들이 모여 있어 최소한의 동작으로 사용 가능합니다. 사용의 용이성은 표본의 가시성과 대비를 증가시키는, 서로 다른 배율에서도 시간 들여 조정이 필요 없는 통합 Abbe 집광기에 의해 더욱 강화됩니다. Olympus의 UIS2 대물렌즈들은 우수한 평탄도의 밝고 선명한 영상을 보장하고, Olympus의 디지털 카메라들은 효율적 디지털 이미징와 문서화 작업이 가능합니다.

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경제성있는 진보된 광학 성능

임상학, 교육용 용도로 높은 성능에 비해 경제적인 CX31은 평탄도가 우수하여 선명한 명시야(Bright Field) 영상을 제공하고, 긴 사용시간 동안에도 더욱 쉽고 편하게 사용할 수 있도록 인체공학적 디자인을 채택하고 있습니다.

PLCN 대물렌즈의 뛰어난 평탄한 영상

Olympus의 UIS2 무한보정 광학계의 높은 명성만큼이나 우수한 평탄도를 제공하는 Plan Achromat 대물렌즈인 PLCN 시리즈는 관찰 범위의 가장자리까지 선명하고 깨끗한 영상을 만들어줍니다. 10x와 40x는 매우 빈번하게 반복되는 검사와 실험 작업에 이상적인 배율입니다.

밝고 균일한 조명

최적화된 광량 조리개가 장착된 집광기와 기본 시야 조리개는 모든 배율에서 밝고 고른 조명을 제공합니다. 조명 시스템으로서의 6V 30W 할로겐 램프는 밝은 영상을 만들어 줍니다.

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뛰어난 광학

우수한 UIS2 광학계

UIS2 접안렌즈는 넓은 시야 범위 (FN20)를 제공하며 안경을 착용한 상태에서도 쉽게 관찰할 수 있습니다.. Plan Achromat 대물렌즈의 PLCN 시리즈는 뛰어난 평탄도와 함께 밝고 선명한 관측을 보장합니다.

다양한 경통 선택

세가지 경통들(이안 경통, 삼안 경통, 꺾임형 이안 경통)은 사용자의 실험에 따라 선택 가능합니다.

통합형 Abbe 집광기

NA 1.25와 최적화된 광량 조리개를 가지고 있는 Abbe 집광기는 시료와 배율 종류에 따라 적절한 조리개 조절이 가능합니다.

항진균 처리 보호

이러한 처리는 경통, 접안렌즈, 대물렌즈의 처리는 높은 습기로부터 광학계의 성능을 보호합니다.

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인체 공학적 디자인 특징

흠집방지 재물대

측면 돌출부가 없는 Rack-free 재물대 낮은 위치의 조절 손잡이는 부드럽고 편안한 시료의 위치 이동을 가능하게 합니다.. 축척 단계는 검은 바탕에 하얀 글씨로 표기되어 있습니다.

촉각식 재물대 손잡이

“가볍게 움직여” XY축 재물대 이동 조절이 가능하도록 촉각식 손잡이가 장착되어 있습니다.

동축 미동/조동 나사

동축 미동/조동 나사는 초점 조절시 필요한 회전 장력을 각 사용자에 맞추어 조절할 수 있습니다. 초점 조절은 사용자가 손을 책상에 올려둔 상태로 부드럽고 쉽게 수행될 수 있습니다.

조동나사 스토퍼

재물대의 조절 높이를 고정하여 고배율 관찰에서 대물렌즈의 접촉에 의한 시료의 파손을 방지합니다.

매우 견고한 현미경 본체

잦은 사용과 재배치를 견디는 매우 견고한 현미경 본체

이동에 용이한 손잡이

현미경 본체의 전후면 손잡이로 현미경을 쉽게 운반할 수 있습니다.

With the Olympus LEXT OLS4100 laser scanning digital microscope non-contact 3D observations and measurements of surface features at 10 nanometer resolutions are easy to produce. The OLS4100 industrial microscope has distinctive features for fast image acquisition and high-resolution microscope images over a wider area.

• 뛰어난 측정 성능
• 세계 최초* 두개의 성능 보증
• 고품질 이미지
• 더 쉽게, 더 빠르게, 더 광범위하게.

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뛰어난 측정 성능

넓은 샘플 범위

85°이상의 경사도 이미지

OLS4100은 높은 N.A값을 갖는 전용 대물 렌즈와 405nm 레이저의 성능을 극대화 시킨 광학 시스템에 의해서 기존에 측정 불가능했던 급경사면의 이미지를 손쉽게 취득할 수 있습니다.

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10nm의 높이 분해능을 가진 마이크로 프로파일 측정

405nm의 단파장 레이저 빛과 높은 N.A의 전용 대물 렌즈를 사용하여 최대 0.12μm의 평면 분해능을 실현. 샘플 표면의 서브 마이크론 측정이 가능합니다. 또한 고정밀 리니어 스케일과 IZ 커브를 이용한 CFO 검색 (23 페이지 참조)를 채택하여 10nm 이하의 높이 차이를 감지 할 수 있습니다.

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반사율 차이에도 대응

OLS4100은 2개의 공초첨 광학 시스템을 탑재한 듀얼 컨포칼 시스템을 사용합니다. 고감도 디텍터(검출기)와 결합하여 서로 다른 반사율을 갖는 샘플에서도 선명한 이미지 구현이 가능합니다.

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멀티 레이어기능으로 투명한 물체의 측정에 대응

멀티 레이어 모드
OLS4100에 추가 된 멀티 레이어 기능은 여러 레이어 (층)의 반사광 강도의 피크를 인식하여 각 층의 두께를 측정할 수 있습니다.

투명 소재의 멀티 레이어 관찰/측정
멀티 레이어 기능을 사용하면 투명 샘플의 윗 표면에 있는 투명 필름의 관찰과 측정이 가능합니다. 레진이 코팅 되어 있는 샘플에서도 투명체 각 층의 거칠기와 두께의 측정도 가능합니다.

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세계 최초* 두개의 성능 보증

정확도와 반복성

측정 기기로서의 성능은 두 개의 다른 용어로 표현됩니다. 그것은 ‘정확도’과 ‘반복성’입니다. “정확도”는 참값에 얼마나 접근하고 있는지를 나타내고 “반복성”은 여러 번 측정에서 얼마나 변동이 적은가 여부를 나타내는 것입니다. OLS4100은 레이저 현미경으로 업계 최초로 *이 두 성능을 보증합니다.

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보증 체계 시스템

OLS4100은 모든 부품이 엄격한 시스템 아래 하에 제조되고 있습니다. 대물 렌즈부터 본체까지 자사 공장에서 일관 생산하고 엄격한 검사 기준을 거쳐 출하됩니다. 최종 조정과 교정은 실제로 사용되는 환경에서 전문 기술자가 수행합니다.

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넓은 범위의 측정 타입

단차 측정

표면 거칠기 측정

면적/부피 측정

입자 측정(옵션)

기하학적 측정

필름 두께 측정(옵션)

자동 에지 검출/측정(옵션)

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OLYMPUS Stream (옵션)

향상된 이미지 분석 성능을 위한 업무개선 솔루션
소프트웨어 “Olympus Stream”(옵션)에서는 입자 크기 분석 및 비금속 함유율 등이 가능하고 OLS4100으로 부터 바로 연동이 가능합니다.

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더욱 더 진화된 거칠기 측정

LEXT OLS4100 파라미터

OLS4100은 표면 거칠기 측정기의 새로운 기준을 목표로 개발되었습니다. 필요한 대부분의 거칠기 파라미터 필터를 보유하고 있습니다. 그렇기 때문에 기존의 접촉식 표면 거칠기 측정기를 사용하는 사용자는 기존의 장비와 일치한 출력 결과를 얻을 수 있습니다..
또한 OLS4100은 거칠기 전용 모드가 있어 자동 라인 스티치로 최대 100mm까지 거칠기 측정이 가능합니다. OLS4100은 접촉식 표면 거칠기 측정기와 같은 거칠기 (2 차원) 파라미터를 보유하고 있습니다. 접촉식 표면 거칠기 측정기와 같은 조작성, 호환 측정 결과를 얻을 수 있습니다.

기본 프로파일	Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr
거칠기 프로파일	Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75
파형 프로파일	Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr
베어링 영역 커브	Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
모티브	R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte
거칠기 프로파일 (JIS 1994)	Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp
기타	R3z, P3z, PeakCount

차세대 파라미터에 대응
OLS4100은 ISO25178 규격 거칠기 (3 차원) 파라미터를 보유하고 있습니다. 평면 영역에서 평가를 실시하는 것으로, 높은 신뢰성이 있는 분석이 가능합니다.

진폭 파라미터	Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa
기능 파라미터	Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp
체적 파라미터	Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc
평면 파라미터	Sal, Str

LEXT OLS4100은 표면 거칠기 측정기의 결과와 호환성을 가지고 있습니다.

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마이크로 거칠기

접촉식 표면 거칠기 측정기는 스타일러스의 팁 지름보다 작은 마이크로 표면을 측정 할 수 없습니다. 레이저 현미경은 레이저 스폿 직경이 미세하기 때문에 미세형상을 높은 분해능으로 거칠기 측정 할 수 있습니다.

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비 접촉 측정

접촉식 표면 거칠기 측정기는 스타일러스에 의해 부드러운 샘플의 표면을 긁어 손상시키거나 변형시킬 가능성이 높습니다. 또착 접착성이 있는 샘플에서는 스타일러스에 끌려 정확한 측정 결과가 나오지 않습니다. 레이저 현미경은 비접촉이기 때문에 표면 상태에 영향을 받지 않고 정확한 거칠기 측정을 할 수 있습니다.

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마이크로 영역에서의 측정

접촉식 표면 거칠기 측정기는 스타일러스를 표면에 접촉하지 않고는 측정 할 수 없습니다. 레이저 현미경은 위치를 정확하게 확인하고, 목표한 마이크로 영역에서 거칠기 측정을 아주 쉽게 할 수 있습니다.

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고품질 이미지

선명한 3D 컬러 이미지

통합이미지의 3가지 유형

LEXT OLS4100은 동일한 시각의 컬러 이미지, 레이저 현미경이미지, 높이 이미지를 동시에 얻을 수 있으며, 각각 2D・3D로 볼 수 있습니다. 레이저 현미경 이미지 뿐만 아니라 컬러 이미지도 초점이 맞는 이미지만 캡처 하기 때문에 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.

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자연 컬러 재연

OLS4100은 백색 LED를 사용하며, 색 재현이 뛰어난 촬상 소자와 결합하여 선명하고 자연스러운 색조의 컬러 이미지를 생성 할 수 있습니다.

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실제 표면 재현, 레이저 DIC (미분 간섭 대비)

미분 간섭 관찰(DIC)은 레이저 현미경의 분해능을 더 넘어선, 나노 미터 수준의 미세한 표면을 시각화하는 관찰 방법입니다. 이 레이저 DIC에 의해 OLS4100은 저배율의 라이브 관찰에서도 전자 현미경의 분해능과 같은 이미지를 얻을 수 있습니다.

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밝기와 대비의 최적 밸런스 HDR (High Dynamic Range) 이미지

OLS4100의 HDR기능은 다른 노출로 촬영 한 여러 가지 광학 현미경 이미지를 결합하고 개별적으로 밝기, 명암, 질감과 채도를 조정하여 넓은 동적 범위의 HDR 프로세스로 이미지화합니다. OLS4100은 대비가 부족한 샘플의 미세 형상도 선명히 라이브 화상으로 관찰 할 수 있습니다.

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측정 및 이미지 환경의 안전화

OLS4100은 외부의 영향을 억제하여 측정 및 이미징 환경을 안정시키기 위해 본체에 코일 스프링과 댐핑 러버로 이루어진 ‘하이브리드 제진 장치 “를 내장하고 있습니다. 따라서 전용 제진대 없이도 측정이 가능합니다.

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더 쉽게, 더 빠르게, 더 광범위하게.

3단계의 간단 조작

OLS4100에서는 샘플을 스테이지에 올리는 것 만으로, 곧바로 관찰 · 측정을 시작할 수 있습니다. 간단한 이미지 획득, 측정, 보고서 작성 이 3 단계로 레이저 현미경에 익숙하지 않은 초보자도 쉽게 측정 방법을 마스터 할 수 있습니다.

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항상 샘플의 위치를 알 수 있습니다.

매크로 맵 기능

OLS4100에서는 매크로 맵 기능이 있기 때문에 “샘플이 지금 어디에 있는지”를 화면에 나타낼 수 있습니다. 전동 리볼버를 사용하기 때문에 저배율의 광범위한 샘플 이미지를 자동으로 표시합니다.
또한 스티칭 기능을 사용하면 기존에 비해 최대 441 배 넓은 시야의 매크로 맵을 만들 수있게 되었습니다.

고속 매크로 맵 스티칭

2가지 스티칭 방법으로 넓은 영역의 스캐닝이 가능합니다.: 라이브 영상 획득 및 빠른 이미지 획득을 위한 자동 모드, 수동 모드.
한 번의 클릭으로 자동으로 이미지를 스캔할 수 있으며, 보다 넓은 범위를 빠르게 획득 할 수 있습니다. 또한 자동 스티칭 사이즈는 5종류(3×3、5×5、7×7、9×9、21×21)에서 선택할 수 있습니다. 획득한 이미지의 불필요한 부분은 간단한 마우스/조이스틱 조작으로 제거 할 수 있습니다.

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간편한 3D 이미징 스마트 스캔

자동 3D 이미지 획득

스마트 스캔 기능을 새롭게 첨가한 OLS4100. 기존의 3D 검사는 초보자에게는 어려운 복잡한 설정이 필요했지만, 스마트 스캔 기능을 통해 쉽게 3D 이미지 전송을 할 수있게 되었습니다. 상하단 설정 이외에 밝기 조정도 자동으로 수행되며 한 번의 클릭으로 이미지 전송이 가능하여 초보자도 숙련자와 같은 최적의 이미지 획득이 가능합니다.

자동 밝기 조절

평면 밝기 조절                                              높이의 범위 내에서 밝기 조절

획득 시간이 대폭 단축

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스캐닝 스피드의 고속화

새롭게 생긴 초고속 모드는 기존 고속 모드의 약 2배, 고화질 모드의 약 9배의 속도로 스캔 할 수 있습니다. 이를 통해 광범위의 Z축 방향의 획득과 고배율이 필요한 칼 끝 같은 급경사 각도를 가진 샘플의 측정도 단시간에 가능합니다.
* 실제 스캔 시간은 Z축 방향의 범위 및 대물렌즈의 배율 등에 의해 변동됩니다.

동일 시간에 따른 이미지 획득 수:

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필요한 부분만을 고속 스캔

OLS4100 밴드 스캔 기능은 샘플 검사 범위를 한정함으로써 원래의 약 1 / 8의 고속 측정이 가능합니다.

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새로운 고속 스티칭 모드

넓은 영역의 스티칭 이미지에서 원하는 영역을 지정

매크로 맵과 같은 절차로 획득한 광범위의 이미지에서 3D 스티칭 범위를 지정할 수 있습니다. 최대 625장의 이미지 스티칭이 기존의 절반의 소요시간으로 생성 가능합니다. 스티칭의 범위를 지정하는 방법은 사각형뿐만 아니라 원형으로도 선택할 수 있습니다.

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수동으로 필요한 영역을 지정

실시간 관찰 모드로 화면에서 필요한 부분을 추적하여 수동으로 선택할 수 있습니다. 관찰 할 샘플이 불규칙한 형태를 가지고 있을 경우 편리합니다.

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빠른 이미지 획득

스마트 스캔을 사용하여 이미지 획득을 한 번의 클릭으로 시작할 수 있습니다. 스마트 스캔 모드에서 Z축 방향 설정이 자동으로 이루어 지므로 Z축 방향의 획득 범위를 한정함으로써 더 많은 시간을 단축할 수 있습니다.

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빠르고 이해하기 쉬운 보고서 작성

관찰 · 측정 결과의 신속한 보고서 작성도 레이저 현미경의 중요한 역할입니다. OLS4100은 측정 종료 후 한 번의 클릭으로 보고서 작성이 가능합니다. 개별 템플릿 사용자 지정이 자유 자재로 할 수있는 등 다양한 편집 기능도 갖추고 있습니다.

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한번의 클릭으로 여러장의 이미지를 일괄 측정

상세 사용자 마법사 설정 기능은 긴 훈련의 필요 없이, 새로운 사용자도 빠르고 쉽게 작업을 할 수 있습니다.

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OLS4100 Application

• 반도체/FPD
• 전자 부품 / MEMS
• 재료/금속 가공

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반도체/FPD(Flat Panel Display)

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전자 부품 / MEMS (미세 전자 기계 시스템)

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재료/금속 가공