Stage Controller
Corvus Controller
스테이지 컨트롤러 CORVUS는 스테이지를 위한 모션 컨트롤의 새로운 표준 영역을 설정합니다. 스텝 모터 제어에 대한 고급 기술들과 함께 최신의 기술이 합쳐져 CORVUS를 지금까지 도달 할 수 없을 것이라 믿었던 스펙을 달성할 수 있었습니다.
분해능(최소 단일 스텝 크기)은 거의 1.5nm (0.0015 um)이며 CORVUS를 사용하여 스테이지를 이송할 수 있는 최저 속도는 초당 0.015um 입니다. 32비트의 고성능 RISC 프로세서, 실시간 연산 시스템을 지원하며, 또한 최고 이송속도를 초당 180mm (4mm lead screw pitch)이며 가장 복잡한 프로그램일지라도 정확한 연산을 매우 빠르게 수행할 수 있게 합니다. 새로운 22개의 LED 진단 시스템을 이용하여 단번에 컨트롤러의 상태를 파악할 수 있습니다.
가장 주목할 만한 것은 ETHERNET과 TCP/IP 인터페이스 옵션입니다. 컨트롤러는 리눅스, 맥 혹은 윈도우 기반의 어떠한 인터넷 브라우저를 통해서도 컨트롤 할 수 있습니다. 원격 유지 보수나 오퍼레이션이 거짓말처럼 가능합니다. 웹서버 버전의 CORVUS는 오퍼레이터 패널이 직접 컨트롤러 그 자체에 내장됩니다.
매우 정밀한 완전한 포지셔닝을 요구하거나, 에러 correction을 제공하여 매우 유용한 어플리케이션에 적합합니다.
Specifications
| Resolution | 1.5 nm (0.0015 um) |
| (smallest step size) | |
| Velocity | max. 45 s-1 (=180 mm /sec) |
| with 4 mm lead screw pitch | |
| Acceleration | max. 4000 mm/sec2 |
| with 4 mm lead screw pitch | |
| Processor | 133 MHz RISC processor with flash memory |
| RS 232 baud rate | max. 115200 buad |
| Diagnostic system | 22 LED |
| Interface* | ethernet interface |
| (10 BaseT, 10 Mbit) | |
| RS 422, IEEE488, USB | |
| Dimension ( H x W x D ) | 70 x 240 x 305 mm |
모든 CORVUS 스테이지 컨트롤러는 Joystick 과 Interface 및 Motor cable을 포함
LSETP 컨트롤러 소개
LSTEP stage controller
1 회전당 50,000 단계의 분해능으로 LSTEP 스테이지 컨트롤러는 스테이지를 정밀하게 그리고 부드럽고 민감하게 제어할 수 있습니다.
LSETP 은 오늘날의 거의 모든 이미지 프로세싱 시스템과 사용자 환경의 WIN-COMMANDER 소프트웨어와 호환됩니다.
WIN-COMMANDER 풀 버전의 경우 시편이나 작업 구역에 자동적으로 구불구불한 (meandering) 추적을 가능케 하며 저장된 위치들을 반복 이동할 수 있는 옵션을 제공합니다.
LSETP Controller
스테이지 컨트롤러 LSTEP은 모든 스텝 모터 Marzhauser 시스템에 적합합니다. 동적인 마이크로 스텝 운전 방식과 모터의 1회전당 50,000 마이크로 스탭의 해상도는 200-스텝 모터를 최대 초당 40회전을 달성할 수 있게 합니다. 모터들의 동작 특성은 대단한 정밀도와 스무드한 동작을 보장하면서도 놀랍도록 조용한 스테이지 운영입니다.
포지셔닝 시스템은 조이스틱을 통한 단독 운영 모드가 가능하고 스테이지의 자동화된 포지셔닝 및 모니터링을 위한 PC사용도 가능합니다. 조이스틱은 컨트롤러와 함께 제공되며 옵션 아이템으로 LSTEP의 앞 패널에 위치 디스플레이를 제공합니다.
LSETP 스테이지 컨트롤러는 오늘날의 대부분의 이미지 분석 패키지와 호환됩니다. 이 컨트롤러를 자신의 소프트웨어에 통합하고자 하는 사용자들을 위해서 완전한 명령어 셋트를 가진 DLL을 제공합니다.
컨트롤러는 편리한 유저 인터페이스를 가진 WinCommander 기본 버전을 제공합니다. WinCommander Full 버전 (제공되지 않음)은 시편의 자동화된 구불구불한 (meander) 추적 뿐 아니라 정밀한 좌표상의 위치를 마킹하고 포지셔닝할 수 있습니다.
Specifications
| Resolution | max. 50,000 setps/revolution |
| (smallest step size) | 0.02 um (1 mm lead screw pitch) |
| 0.04 um (2 mm lead screw pitch) | |
| 0.08 um (4 mm lead screw pitch) | |
| Motor revolution | max. 40 s-1 |
| using motors with 200 steps/rev | |
| Input | up to three limit switch inputs for each axis, |
| TTL or open collector, 5 V / 12 V | |
| RS 232 baud rate | max. 57.6 k buad |
| Dimension ( X x Y x Z ) | 250 x 230 x 95 mm |
| Weight | approx. 4,500g |
모든 LSETP 스테이지 컨트롤러는 Joystick 과 Interface 및 Motor cable을 포함
LSETP PCI Controller
포지셔닝 시스템 LSETP-PCI는 2/4 상(phase) 스텝 모터에 대한 3축 스텝 모터 컨트롤러로 개인용 컴퓨터의 PCI-card로 작성되었습니다.
PC와 컨트롤러간의 통신은 PCI 버스 혹은 RS 232 인터페이스를 통하여 듀얼 포트 램에 쓰여져 일어납니다. 동적인 마이크로 스텝 연산은 고속에서 매우 정밀한 포지셔닝을 가능케 합니다.
컨트롤러와 파워 앰프의 통합은 하나의 플러그 인(plug-in) 장치를 제공하여 컴펙트하게 제공되며, EMC 규격에 따르기 위해 추가적인 기계적 조치를 요구하지 않습니다.
LSETP-PCI 는 가격적인 부분이 민감한 어플리케이션에 좋은 대응이 됩니다.
수많은 옵션 기능들은 어떠한 어플리케이션에도 각각의 해결책을 보장해 줍니다.
Specifications
| Resolution | max. 50,000 setps/revolution |
| (smallest step size) | 0.02 um (1 mm lead screw pitch) |
| 0.04 um (2 mm lead screw pitch) | |
| 0.08 um (4 mm lead screw pitch) | |
| Motor revolution | max. 40 s-1 depending on type of motor and voltage |
| Power supply | logic voltage supply and reset via the PCI bus |
| Motor voltage : 12 V from PC | |
| Power pack; alternatively 11.4 V to 48 V from external power pack | |
| RS 232 baud rate | max. 57.6 k buad |
| Dimension ( X x Y x Z ) | 341 x 120 x 20 mm |
| Max. travel speed | 45mm/s, 1mm lead screw pitch |
| 90 mm/s, 2mm lead screw pitch | |
| 180 mm/s, 4mm lead screw pitch |
모든 LSETP PCI 스테이지 컨트롤러는 Joystick 과 Motor cable을 포함