Industrial Microscope

BX41

BX41

정립 · 산업 현미경

Power of BX Series

System구축 및 장치조합의 자유도를
향상시킨 Arm일체형 반사투광관
철저한 인체공학의 추구에서 만들어진 Y형디자인에서 더 나아가 Arm 일체형 반사투광관이라고하는 새로운 개념으로, 지금까지 없던 System의 자유도와 장치간의 조합을 용이하게 실현시켰습니다. UIS2 무한보정광학계의 최고급상이 공업분야의 다양한 검사 요구에 고해상으로 대응합니다.

  • 가시영역에서 근적외영역까지의 폭넓은 관찰 가능
  • ESD대응
  • 전동대응
  • 장치조합가능
Special Features
ㅁ 세계 최고 품질에 더욱 박차를 가하여 만들어진 UIS2광학SYSTEM.
ㅁ 인체공학적 디자인을 더욱 발전시킨 Y형의 세련된 디자인.
ㅁ 기능성을 추구한 다양한 ACC’S로 각종 검사요구에 정확히 대응.

세계 최고 레벨의 상을 더욱 더 발전시킨 UIS 광학 시스템

  • 명시야에서 형광까지의 모든 관찰법에 대응하는 Universal 대물렌즈
    명시야, 암시야 , 미분간섭, 간이편광, 형광관찰에 적용할 수 있는 Universal 대물렌즈 MPLN/MPLNFL-BDP를 준비하였습니다. 모든 관찰법에 있어서 최상의 상을 구현하였습니다.
  • Sample을 최고의 상으로 보여주는 미분간섭 System.
    전자장비 검사에 빠질 수 없는 미분간섭 관찰. Sample의 상태에 맞추어 언제라도 최적의 해상도와 Contrast를 얻을수 있도록 되어있습니다. 모든 것에 사용 할 수 있는 U-DICR, 고해상도를 추구하는 U-DICRH, High Contrast를 추구한 U-DICRH 등 3종류의 DIC 프리즘이 준비되어 있고, 모두 Slider방식의 Single prism이므로 연속한 배율에서의 관찰시, 관찰이 용이하고 다른 관찰방법으로 변환이 부드럽습니다.
  • 고배율대응 AS에 의해 저배에서 고배까지 연속적으로 조리개 사용 가능
    높은 AS 조리개의 성능을 갖는 명시야 반사 투광관 BX-RLA2를 사용하면, 초고배율관찰에서 불가결하던 종래의 Pin Hole 삽입조작이 없이도 연속적으로 조리개 조정이 가능하여, 초점심도가 깊은 High Contrast 의 관찰상을 얻을 수 있습니다. 또 초고배율에서 작동 거리가 긴 Apocromat 대물렌즈 150x를 준비하여 렌즈 선단이 Sample과 접촉하는 염려를 줄였습니다.

  • 이전보다 2배의 밝기를 실현한 암시야 관찰
    명시야 관찰시에 사용하던 DND filter를 폐지하고 더욱더 집광성능을 향상시킴으로, 명시야와의 밝기 밸런스를 유지한 채로 이전보다 약 2배 밝은 암시야 관찰상을 얻을 수 있습니다. 높은 암시야 효과에 의하여 놓치기 쉬운 흠과 먼지도 선명하게 파악할 수 있습니다.

  • 초미세검사에 최적인 Plan Apocormat 대물렌즈
    색수차를 철저히 제거한 고해상 대물렌즈 MplanApo/MplanApo-BD를 준비하였습니다. 색의 배어남이 없고 High Contrast인 관찰법을 통해 미세한 선폭도 선명하게 관찰이 가능합니다.

  • Glass 너머의 관찰을 가능하게 하는 Glass 보정 대물렌즈
    LCD기판등 Glass를 통하여 관찰이 가능한 대물 렌즈로 LCPLFLN-LCD20×,50×은 0.7/1.2㎜ 두께의 Glass 보정 Cap방식, LCPLFLN-LCD100×는 0.5/0.7㎜두께의 Glass 보정 Cap 방식입니다.

  • 요철이 큰 Sample관찰에 최적인 Super Working distance렌즈
    20 ×에서25㎜ 、50 ×에서18㎜의 큰 작동거리를 구현한 초장(超長) 작동거리 대물렌즈 SLMPLN을 준비하였습니다. JIG상에 설치된 자기헤드의 관찰 등에 위력을 발휘합니다.
  • 모든 Application에 충실한 대물렌즈

인체공학적 디자인을 더욱 진화시킨 Y-Type 의 세련된 디자인

  • 더욱더 compact한 Y-type의 세련된 디자인
    현미경 본체의 좌우에 넓은 작업 Space를 확보, 안쪽길이를 더욱 짧게한 Y-type의 세련된 디자인. Lamp house의 형상도 안쪽길이를 억눌러, 좁은장소에서의 설치를 더욱더 용이하게 되었습니다. 주변기기를 현미경의 옆에 놓고 편하게 작업을 할 수 있습니다.
  • 조작부의 이상적인 배치가 장시간 작업에서의 피로를 경감.
    피로가 없는 이상적인 외형으로서, 압도적인 지지를 얻고 있는 Y-type의 세련된 디자인이 더욱더 조작성을 향상. 손목을 책상에 놓은채로 조작을 편하게 행할 수 있다. 현미경 조작에 큰 손의 움직임을 필요로 하지 않는다.

  • 핀트 조정을 편하게 행하고, 좌우 추가부착 가능한 미동핸들
    Focusing의 미동핸들을 떼어내어 움직임이 편한 좌우 어느쪽에서도 부착하는 것이 가능합니다. 미동 핸들은 고무로 된 코팅이 되어 있어 손의 끝으로 가볍게 잡아도 미동감도가 높아 고배의 핀트 조정에 있으서도 부드럽게 행할 수 있습니다.
  • 명기야, 암시야의 변환시에 ND filter가 연동
    명시야 반사 투광관은 관찰의 변환시에 ND filter가 연동하여 밝기의 급격한 변화에서 관찰자의 눈을 보호합니다. 이 연동기구는 필요시 제거 하는 것도 가능합니다.

  • 관찰자세를 편안하게 유지시켜주는 경통 Tilting Line-UP
    쌍안은 U-TBI 삼안에는 U-SWETTR/MX-SWETTR의 각종 Tilting경통을 준비하였습니다. 목을 무리하게 숙이지 않아도 관찰자의 Eye-Point를 얻을수 있기 때문에 장시간 관찰에서의 부담을 대폭 경감시킬 수 있습니다.
  • 연동하는 Polarizer, Analyzer Slider의 삽탈이 One-Touch
    미분간섭에서 명시야 등의 관찰방법의 변환에서 Polarizer/Analyzer Slider를 한번에 삽탈할 수 있어 빠른 관찰변환이 가능하게 되었습니다. 또 Polarizer/Analyzersms 반사투광관의 좌우 어느쪽에서도 Slide in-out 할 수 있게 되어 있습니다.

기능성을 향상시킨 다채로운 ACCESSORIES로 각종 검사 요구에 적합하게 대응

  • 공업용현미경 전용 Stage와 각종 Plate
    공업용현미경 전용의 대형 스테이지 U-SIC4R2/U-SIC4L2를 준비하였습니다. 100×100㎜의 Stage-plate U-MSSP4와 4인치/3인치 웨이퍼 홀더 BH2_WHR43을 장착할수 있는 plate U-WHP2, MaskHolder로서도 사용할 수 있는 투과관찰용의 Glass Plate U-MSSPG등이 준비되어 있습니다.
  • Guide돌출함이 없는 rack-less Stage
    X축 이동시 예리한 rack기어가 돌출되지 않는, 독자의 Rack-less Stage U-SVRM/U-SVLM을 이용합니다. Stage주위가 항상 여유공간이 확보되어 있어 현미경 조작에 대한 방해가 없습니다. Stage에는 76×50㎜의 Stage plate U-MSSP가 준비되어 있습니다.

  • 표준사양으로 최대시료높이 65㎜까지 관찰 가능하며 65㎜를 넘는 Sample도 관찰 가능
    반사전용 Type의 BX41M/BX51M은 기본적으로 Sample 두께 65㎜까지 관찰 할 수 있고, Arm일체형 반사투광관 채택으로 Spacer등을 사용하면 간단하게 증축을 행하여 65㎜가 넘는 두께의 Sample관찰이 가능하게 됩니다.

  • Direct로 배율변환이 가능한 전동 Revolver
    간단한 핸드스위치 조작으로 직접 원하는 대물렌즈로의 변환이 가능한 전동Revolver U-D6REM과 U-D5BDREM로 관찰효율을 향상시킬 수 있고, Sample에 먼지가 낙하하는 것을 억제할 수 있습니다. 모든 반사 투광관에 부착이 가능합니다.

  • 대물렌즈간에 완전히 같은 중심축을 유지할 수 있는 Revolver
    3개의 대물렌즈간에 완전한 동심이 얻어질수 있도록 2개소에 Coaxial 기능을 추가한 Coaxial quintuple BD revolver U-P5BDRE와 Sextuple revolver U-P6RE를 준비하였습니다. 저배율에서 고배율까지 대물렌즈를 변환하여도 상의 중심이 벗어나지 않기 때문에 효율성 있는 검사가 가능합니다.
  • 자외선 차단 등 각종 Filter를 준비
    자외선 차단, 색온도 변화, Contrast강조, Yellow등의 각종 Filter-slider를 준비하였습니다.

다양한 조명기기에 대처하기 위하여

  • 모든 반사투광관에 적합한 Fiber조명
    Fiber Type 냉광조명을 모든 반사투광관에서 사용할 수 있고 광원에는 12V100W Halogen의 LG-PS2가 있습니다. BX-KMAS용에는 U-LGAD Adapter를 사용하여 주십시오.
  • 다양한 광원에 적합한 조명 System
    수은과 크세논광원에는 가시광에서 근적외광까지의 색수차를 보정한 APO type을 사용하며, 밝고 긴수명, 경제적인 50W의 Metal Halide type도 있습니다. 용도에 맞게 선택하여 주십시오.

간단한 계측을 하기 위하여

  • 치수를 바로 읽을 수 있는 접안이동 측미계
    쌍안부에 부착하여 간단하게 치수측정이 가능한 소형,경량의 접안이동측미계 U-OSM. Micrometer에서 Scale을 이동시켜, 측정길이를 대물렌즈의 배율로 나누는 것만으로 정밀한 실치수 측정이 가능합니다.

가시광선 영역에서 반사투과의 폭넓은 관찰에 대응

BX51/BX51M

Arm일체형 투광관의 채택으로 시스템구축 및 장치조합의 자유도가 더욱더 향상되었습니다.
반사투과조명에 대응한 BX51-type. 반사조명전용에 대응한 BX51M-type을 준비하였습니다.
또 BX-URA2(Universal반사투광관)과의 조합에 의한 형광관찰도 가능합니다.

IR 관찰에 대응

BX51/BX51M-IR

현미경 본체와 반사투광관은 그대로 근적외선 대응의 Unit을 조합하는 것 만으로, 반사투과의 근자외선관찰이 가능합니다.
실리콘 웨이퍼 내부와 패키지 후면내부, CSP bump등의 관찰을 가능하게 하는 근적외선현미경으로서 사용이 가능합니다.
BXFM system과 조합하는 것이 가능합니다.
근적외선관찰에 대응

  • 가시영역에서 근적외 영역까지의 수차보정된 5X ～ 100X의 IR대물렌즈를 갖추고 있습니다.
  • 근적외관찰을 용이하게 하는 직통을 장치에 통합시켰습니다.
  • 반사투과본체와의 조합으로 투과광 근적외선 관찰에도 대응가능합니다.

ESD 대응

BX41M-ESD

우수한 기본성능을 바탕으로 현미경본체, 반사투광관, Revolving nosepiece의 조작부, 표면 등을 ESD대응으로 만들었습니다.
작업자 및 대기중에 포함된 정전기를 빠르게 방전하고, 정전기로부터 장비를 보호합니다.
작업공간을 배려한 Y-type의 세련된 디자인과 Compact한 Lamp House에 의한 Small space를 구현하였습니다.
또한 신개발품인 LED 광원의 채택으로 100W Halogen에 필적하는 밝기에 긴 수명을 실현하였습니다.

  • ESD 성능 : 표면저항108Ω이하, 제전(除電)시간0.2sec이하
  • 반사명시야, 간이편광, 미분간섭관찰이 가능합니다.

 

Motorized 대응

BX61

Focusing, 조광, 반사투과변환 등이 전동화된 BX61을 준비하였습니다.
Control Software로 일련의 현미경 조작을 Macro화하고, Key-pad나 Computer및 팜톱 단말기에서 제어가능합니다.

  • 관찰법 및 대물렌즈의 배율과 연동한 조광과 각종 광학소자의 삽탈 등, 관찰에 동반되는 광학조정을 세밀 하게 설정하는 것이 가능합니다. 번잡한 일련의 조작을 Macro화하여, 현미경 본체에 장비된 버튼(focus, 조광 등 모두 9개소)과 핸드스위치, computer의 key-pad등에 할당하고 보턴 하나로 관찰조건을 재현할 수 있습니다.
  • 고속고내구성 전동 Revolver, Motorized Coaxial Revolver,전동명시야 투광관, 전동Universal투광관,반사 Auto Focus Unit, Filter Wheel등의 각종 전동 Module을 준비하였습니다.이러한 전동 Module은 바로 옆의 핸드스위치와 computer에서 제어가능합니다.
  • 모든 대물렌즈에서 완전한 동심을 얻을수 있는 (Motorized coaxial Quintple Revolver) U-P5REMC를 준비하였습니다.

장치편입대응

BXFM-S/BXFM

장치내장에 적합한 소형명시야투광관의 BXFM-S,Arm일체형의 명암시야 및 형광투광관을 부착가능한 BXFM의 2종류를 준비하였습니다.
어느쪽도 Fiber조영과 전동 Revolver, 결상렌즈 Unit등의 조합이 가능한 폭넓은 System으로 장치에의 조합을 간편하게 할 수 있습니다.

  • 장치에의 편입을 용이하게 하는 소형의 Focusing Unit System, Fiber조명, 전종 Revolver, 결상렌즈 등의 각종의 Unit을 준비하였습니다.
  • 투광관일체형 Arm의 채용에 의해 장치에의 편입을 간단하게 행할수 있습니다.
  • 100W Halogen 조명에서는 조광, Lamp의 ON/OFF가 리모콘과 외부신호에서의 제어가능한 외부전원 TH4를 준비하였다.
  • OLYMPUS의 무한원보정 광학계 UIS2는 단순히 세계최고 레벨의 상을 실현한 것만이 아닙니다. 경통내에 결상렌즈를 내장한 우수한 광학기술에 의한, 대물렌즈와 결상렌즈의 거리를 변화시켜도 배율의 변화와 상의 열화가 없는 높은 자유도의 광학시스템을 제공합니다. System구축과 장치에의 조합, 개조에 대한 요구에 대응하면서 광학성을 완벽히 끌어내는 것이 가능합니다.