MX61A
현미경 솔루션
MX61A는 반도체 검사 전용 현미경으로 사용자가 오랜 시간동안 편안하게 사용할 수 있는 인체공학적인 디자인을 갖추었습니다. 장시간 검사할 수 있고, 작업의 통일성과 생산성을 향상시킬 수 있습니다.
- 우수한 광학 성능
- 전동 컴포넌트의 통합 제어
- 인체공학적인 디자인
- Complimentary Inspection Solutions
우수한 광학 성능
높은 수준의 영상 성능
MX61A는 새로운 UIS2광학 시스템의 도입을 통해 최고의 영상 성능을 낼 수 있도록 개선되었습니다.
명시야,암시야,미분간섭을 포함한 모든 조명 기술에서 선명하고 명확한 트루 컬러 이미지를 보여줍니다. MX61A의 암시야 관찰 이미지의 밝기는 이전의 OLYMPUS UIS 광학 시리즈에 비해 4배정도 밝아 졌습니다.
관찰 이미지 예
-> UIS2 대물렌즈에 관한 상세한 설명(click)
자동 조리개 조절에 의한 최적의 contrast
통합된 전동타입의 조리개가 렌즈에 따라 자동적으로 조절됩니다. 각각의 배율에 따라 최상의 이미지 품질을 얻을 수 있고 사용자의 눈을 편하게 하여 규칙적인 검사를 더욱 효율적으로 만들어 줍니다.
Active Laser Autofocus
MX61A는 검사의 정확성과 속도를 위해 레이저 자동 초점 장치를 갖추고 있습니다.새로 개발된 multi-spot 센서의 도입은 표본의 수직지형의 영향을 제거하여 안정성을 크게 증가시키며 모든 관찰 방법에 대해 기대치보다 초과하며, 더 빨라지고 반복도가 상승합니다.
Supports Routine and Advanced Observation Methods
UIS2 대물렌즈 시리즈는 deep ultraviolet, 가시광선, 근적외선 관찰에서 높은 성능의 영상을 제공합니다. MX61A는 통합된 소프트웨어 플랫폼이나 핸드셋을 통해 쉽게 선택할 수 있는 시스템에서 명시야,암시야,미분간섭,형광과 근적외선 관찰법들을 호환하여 사용할 수 있습니다.
관찰 이미지 예
전동 컴포넌트의 통합 제어
전동 컴포넌트의 통합 제어
OLYMPUS 는 디지털 카메라와 전동 스테이지를 포함한 모든 전동 기능을 제어하기 위해 MX61A 현미경 프레임과 함께 통합된 여러 소프트웨어 플랫폼을 제공합니다.
각 인터페이스는 기본적인 검사 및 제어, 고급 이미지 분석 및 반복적인 사이트 검사 및 결함 검토를 위해 설계되었습니다.
인체공학적인 디자인
SEMI S2 & S8 Standards 적용
MX61A는 SEMI( Semiconductor Equipment and Materials International) S2와 S8 기준에 따라 웨이퍼에 안전하고 인체공학적이게 제작되었으며, CE도 표시되어 있습니다.
Observation Tube 조절
Observation Tube 조절의 넓은 범위는 사용자가 앉아서 적절한 자세를 취하여 안정적이고 편안한 작업을 할 수 있습니다.
전동 Nosepieces의 향상된 검사 속도
초고속 전동 nosepiece 의 회전 속도는 clean room과의 호환성을 유지하면서 검사 간의 속도를 줄여줍니다. OLYMPUS는 이상적인 검사방법을 위해 3가지 종류의 제어방식을 제공합니다. 소프트웨어, 프레임 버튼, 독립적인 핸드셋.
Rigid Frame Design
OLYMPUS는 100배,150배 대물렌즈를 사용할 때 진동으로 인한 흐림을 최소화하고 이미지의 해상도와 contrast를 최대화 하기 위하여 견고하고 진동에 민감함 MX61A 프레임을 채택하였습니다.
Handset for Tactile Control
인체공학적으로 설계된 핸드셋은 렌즈 선택과 관찰법을 선택하기 위해 현미경의 전동기능을 제어할 수 있는 버튼을 제공합니다. 사용자는 오토포커스 유닛의 TRACE 와 ONE SHOT을 조절할 수 있고, 수동 미세 초점, DIC의 위치 조절, 램프 강도, 샘플 교체를 위한 스테이지 낮추기 도 조절 가능합니다.
Complimentary Inspection Solutions
고성능 전동 스테이즈
높은 정확도의 전동 스테이지를 MX61A 현미경과 함께 사용할 수 있습니다. 조이스틱과 소프트웨어로 조종이 가능한 전동 스테이지는 검사의 반복도를 높이고 인체공학적이라 검사할 수 있는 작업시간을 연장시켜줍니다.
